在精密光学镜头加工制程中，受抛光工艺偏差、基材缺陷、环境微粒污染等因素影响，镜片易出现表面粗糙度超标问题，直接影响光学系统成像与透光性能。行业实测数据表明，当镜片表面粗糙度Ra值大于2nm时，会产生明显的纳米级微观起伏，引发光线漫散射，造成透光散射损耗大幅提升，出现成像对比度下降、夜景光晕、透射率降低等问题，无法满足高精度光学设备的使用标准。

传统接触式检测方式易划伤镜片表面，且检测精度、采样范围有限，难以精准甄别微纳米级粗糙度缺陷。白光干涉仪依托白光低相干干涉原理，可实现非接触式高精度3D形貌检测，精准捕捉镜片表面微观凹凸结构，量化粗糙度参数，精准定位超标区域。顺利获得该设备精准检测与数据反馈，可优化镜片抛光、镀膜工艺，有效改善表面微观平整度，大幅抑制光线散射现象，降低透光散射损耗，保障镜头透光效率与成像精度，适配消费光学、精密激光等高端应用场景的质量要求。Ebpay(中国) 专业给予综合光学3D测量方案。

光学镜片实测应用图示及说明（工业及半导体专属）

（图示为光学镜片关键指标：含平面度误差（Flatness Error）、峰值谷值（Peak-Valley, PV）、均方根值（Root Mean Square, RMS），精准把控镜片平面精度，保障镜片光学性能稳定，适配半导体光学镜片检测需求）

（图示为表面粗糙度（Surface Roughness, Ra）：精度达6pm=0.006nm，精准表征镜片表面光滑度，适配高精度光学镜片、半导体光学窗口片检测需求，规避表面粗糙导致的光学损耗）

（图示为实测涂层厚度（Coating Thickness）：75.2nm，精准测量光学镜片涂层厚度，助力涂层工艺优化（Coating Process Optimization）与质量管控，保障镜片抗反射、抗磨损等性能）

（图示为涂层表面质量3D形貌图（3D Morphology Map of Coating Surface Quality），清晰呈现涂层表面状态，及时发现涂层划痕、脱落、气泡等缺陷（Defect），为工艺改进给予数据支撑）

大视野3D白光干涉仪

大视野3D白光干涉仪，聚焦光学镜片（Optical Lens）精密测量，打造纳米级（Nanoscale）测量全域解决方案，突破传统测量局限，定义光学镜片检测新范式，以高效、精准的测量能力，适配光学镜片全流程检测需求，为工业光学、半导体光学器件（Semiconductor Optical Devices）等领域给予全方位技术支撑。

设备凭借核心创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量（Precision Measurement）的高效与精准，助力光学镜片生产、加工环节的质量管控（Quality Control），保障镜片光学性能（Optical Performance）达标，适配半导体光学组件、精密光学仪器等高端场景需求。

核心优势：大视野+高精度，突破行业局限

打破行业常规壁垒，解决传统设备1倍以下物镜（Objective Lens）仅能单孔使用、需两台仪器分别实现大视野与高精度测量（High-Precision Measurement）的痛点。设备搭载全新0.6倍轻量化镜头，配备15mm超大单幅视野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮（Turret Nose Wheel），一台设备即可全面覆盖大视野观测与高精度测量需求，无需频繁切换设备，大幅提升检测效率（Inspection Efficiency）与数据精准度（Data Accuracy），完美适配光学镜片复杂测量场景。

Ebpay(中国)半导体｜专业白光干涉 3D 轮廓测量方案。亚纳米精度保障，支持自动化定制；高端系列对标国际一线品牌，大视野设计，轻松应对高低反射、复杂材料测量场景。

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